Распылитель Agilent, MicroFlow, перфторалкокси (PFA), ИСП-МС Agilent серий 7500/7700 и 8800, скорость потока приблизительно от 20 до 50 мкл / мин, для использования без встроенного автосэмплера Agilent, для анализа фтористоводородной кислоты высокой чистоты образцы G3139-65106