Распылитель Agilent, MicroFlow, перфторалкокси (PFA), со встроенным датчиком автосэмплера Agilent (I-AS), скорость потока 200 _л / мин, стандартно с Agilent 7700s, ИСП-МС 8800 в полупроводниковой конфигурации и ИСП-МС 7500s, для анализ фтористоводородной кислоты высокой чистоты G3139-65102